靜電是凈化車間最難控制的因素之一，它會增加半導體器件生產中的廢品，降低電子設備的可靠性。因此，在半導體器件的生產中，有必要在所有制造階段防止靜電作用在器件上。

　　

　　消除靜電的方法有很多，有防靜電環境要求的凈化車間項目一般采用以下方法：

　　

　　

　　凈化車間裝修應使用不易產生靜電或產生靜電后能迅速泄漏的材料。當多種材料一起使用時，應選擇電氣順序表中位置相近的材料。所有材料都可以分為電導體或電絕緣體。導體是電流可以通過的材料，絕緣體是電流不能通過的材料。

　　

　　

　　接地是消除帶電導體靜電最常見、最經濟、最簡單、最可靠的方法。

　　

　　1、凈化車間內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉末管道應采取防靜電接地措施。

　　

　　2、電子行業潔凈室的圍護結構(天花板、地板、墻壁、立柱)應進行防靜電裝飾，抑制灰塵的帶電吸附。

　　

　　3、工藝設備接地。

　　

　　4、辦公設備應由抗靜電材料制成并接地。

　　

　　5、工人應穿防靜電無塵衣服、鞋、帽、手套、腕帶等。

　　

　　

　　帶電體周圍的空氣電離后(靜電)，帶電離子在電磁場作用下遷移，帶電體吸引相反的電荷，中和消除靜電。靜電消除器是一種能產生電子和離子的裝置。靜電消除器產生的電子和離子中和帶電體上的相反電荷，從而消除靜電。絕緣材料和空氣表面的靜電荷必須通過靜電中和來消除。

　　

　　

　　在許多消除靜電的方法中，室內濕度控制也可以用來減少和消除凈化車間的靜電。通過保持環境中的高相對濕度，在該區域的物體表面將形成一層薄的濕氣層，并且該薄層將用于提供導電通道，使得可能的電荷可以流過濕氣層以消散靜電荷。此外，薄的水分層可以增加物體表面的潤滑性，摩擦電也會降低。一般來說，濕度越低，產生的電荷越多。然而，數據顯示，即使當濕度高時，也會產生顯著的靜電電壓。但是，在高濕度環境下，生產人員可能會感到非常不舒服，零件可能會生銹，導致焊接性問題。同時，試圖通過濕度控制來消除靜電顯然是昂貴的，尤其是在干燥地區。